工艺介绍：
包括紫外接触/接近式光刻、紫外投影步进式光刻、电子束光刻等；
紫外接触接近式光刻：分辨率≥2um，精度±0.5um；
紫外投影步进式光刻：分辨率≥0.5um，精度±0.2um；
可在硅片、玻璃、石英、蓝宝石等硬质衬底及P等柔性材料上进行光刻加工；
可加工尺寸：2-8寸。
