型号：

MIBK/IPA 1:3

主要成分：

异丙醇 20-80% CAS 67-63-0

4-甲基-2-戊酮 20-80% CAS 108-10-1

原理与使用方法：

PMMA（聚甲基丙烯酸甲酯）是一种高分辨率、高对比度的正性电子束光刻胶，可用于电子束、深紫外光(220-250nm)和x射线进行曝光。图形结构可通过聚合物主链断裂，分子量下降，小分子聚合物溶于显影液后而获得。

PMMA的显影液一般是MIBK和IPA的混合溶液。MIBK是溶剂和活性剂，控制PMMA的溶解和溶胀速率，而IPA是异丙醇（非溶剂）。PMMA常使用不同配比的MIBK:IPA混合溶液进行显影（配比 1:1、1:2、1:3）。含有较多MIBK成分的混合溶液，显影速率加快，提高显影速率。然而含有较多IPA的混合溶液，显影速率缓慢，但是适合高分辨线条的显影。

储存:

确保工作间有良好的通风、排气装置。

放入密封的贮藏器，储存在阴凉、干燥的地方。

使用防爆炸的设备或装置和防火花的工具。

远离热源和阳光直射。

远离火源，禁止吸烟。

防静电。