型号：

SU-8 Developer

主要成分：

2-甲氧基-1-丙醇乙酸酯 <0.5%

CAS：70657-70-4 乙酸-1-甲氧基-2-丙基酯 >99.5%

CAS：108-65-6 （PGMEA）

原理与使用方法：

SU-8系列的光刻胶，采用丙二醇甲醚醋酸酯（PGMEA）+ 异丙醇（IPA）交替浸泡的方式进行显影。一般准备三个玻璃缸和一个底部镂空的显影花篮，三个玻璃缸依次倒入PGMEA，IPA和IPA，显影花篮方便显影过程中硅片的转移。未曝光的光刻胶区域未发生交联反应，易被PGMEA溶胀，之后浸泡IPA可将溶胀的胶剥离硅片表面，重复至无絮状物飘出后在干净的IPA中漂洗，溶解掉残留的PGMEA。也可选择美图SD-100-T桌面自动显影机进行显影。显影结束后用氮气吹干。

储存:

确保工作间有良好的通风、排气装置。

放入密封的贮藏器，储存在阴凉、干燥的地方，保持低温。

远离热源和阳光直射。

远离火源，禁止吸烟。

防静电。

切勿与碱金属（苛性碱溶剂）、氧化物质、酸性物质储存在一起。