产品名称:
蓝宝石片即氧化铝晶片,常被应用的切面有A-Plane,C-Plane及R-Plane。
应用:
广泛应用于三五族和二六族化合物的外延生长,例如GaN、AlN;各类半导体薄膜的外延生长;LED产业的特种衬底;微电子IC应用(超高速集成电路SOS).
参数:
1、直径2~4英寸
如果需要使用蓝宝石片进行PSS制造,请预先定义衬底表面质量。
2、晶向:C<0001>,M<10-10>,A<11-20>,R<1-102>等
3、厚度:200μm~1mm
4、单抛、双抛
优势:
1、晶格失配率低、物理化学稳定性好。
2、表面粗糙度小,有优良的平整度和洁净度,所有晶向都具有优良的表面质量。
3、采用高纯单晶Al2O3光学一级材料。
4、出库数量灵活,可最大限度满足您的研究需求。