产品介绍:
ROL7133光刻胶,负胶。
光源推荐:g/h/i-Line。
单层厚度:2.2-4um。
应用:
ROL-7133剥离光刻胶适合用碱性显影液显影,采用安全溶剂,有诸多优点,是微电子、微光子和微机械制程中制做金属电极或导线的专用光刻胶。
特性:
● 高分辨率:产线 3 微米,最高可达2微米
● 高对比度:体系交联好,显影快速、干净;强附着力:无需HMDS,无侧腐
● 高宽容度:对 ED、PEB 一定范围内波动不敏感,产线稳定性强;易于去胶溶于有机溶剂,去胶快速无残留
● 金型规整:蒸金后金属形貌接近矩形
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