产品介绍:
SPR220系列, 正胶、紫外光刻胶。
光源推荐:i-Line,也可以用于宽谱。
单层厚度:1-10um。
型号:
SPR220-3.0/SPR220-4.5/SPR220-7.0
应用:
选择性电镀,镀金,铜,镍/铁时,光刻胶无裂纹产生;还适用于深硅刻蚀等工艺。
特性:
● 单层涂层厚度均匀(>10um)
● 与金属的粘附性好
● 耐干法/湿法刻蚀
● 可适用于无金属离子的(MIF)显影液和含金属离子的显影液(MIC)
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