产品介绍：

SML系列，正胶，电子束胶。

光源推荐：E-beam。

单层厚度：50-5000nm。

型号：

SML50/SML100/SML300/SML600/SML1000/SML2000

应用：

高性能SML电子束光刻胶是一种新型聚合物，专门设计来满足EBL需求。它可以写出高分辨率和高深宽比的图形。即使在低加速度电压，而不需要接近效应校正。

特性：

● 安全且易于使用，适用于PMMA的电子束工艺流程

● 优越的LER/LWR

● 侧壁垂直度好

● 高对比度

● 粘附性好（不需要HMDS预处理）