产品介绍:
RDPE-10-1500系列系列电子束光刻胶,正胶;
光源推荐:E-beam,X-ray。
应用:
RDPE-10-1500系列电子束光刻胶是以聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)聚合物为基础的正性电子束光刻胶,可以用于掩模版制作,金属剥离Lift-Off和电镀掩模等工艺。
特性:
● 多种分子量,可溶于多种不同溶剂
● 分辨率高
● 成膜性好
● 可用于各种不同衬底的涂覆