电子束光刻胶

RDPE-10-1500系列

产品介绍:

RDPE-10-1500系列系列电子束光刻胶,正胶;

光源推荐:E-beam,X-ray。


应用:

RDPE-10-1500系列电子束光刻胶是以聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)聚合物为基础的正性电子束光刻胶,可以用于掩模版制作,金属剥离Lift-Off和电镀掩模等工艺。


特性:

● 多种分子量,可溶于多种不同溶剂

● 分辨率高

● 成膜性好

● 可用于各种不同衬底的涂覆

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