产品介绍:
RDNI-09-0150。国产SU-8,可替代SU-8 3000系列;
光源推荐:i-Line;
单层厚度:8-70um。
应用:
用于光电器件,MEMS芯片制作,以及作为芯片绝缘、保护层使用。
特性:
● 高分辨,垂直形貌
● 优异的附着力,低的涂层应力
● 优异的耐干法刻蚀性能