型号：
SU-8 Developer
主要成分：
2-甲氧基-1-丙醇乙酸酯 <0.5%
CAS：70657-70-4
乙酸-1-甲氧基-2-丙基酯 >99.5%
CAS：108-65-6 （PGMEA）
原理与使用方法：
SU-8系列的光刻胶，采用丙二醇甲醚醋酸酯（PGMEA）+ 异丙醇（IPA）交替浸泡的方式进行显影。一般准备三个玻璃缸和一个底部镂空的显影花篮，三个玻璃缸依次倒入PGMEA，IPA和IPA，显影花篮方便显影过程中硅片的转移。未曝光的光刻胶区域未发生交联反应，易被PGMEA溶胀，之后浸泡IPA可将溶胀的胶剥离硅片表面，重复至无絮状物飘出后在干净的IPA中漂洗，溶解掉残留的PGMEA。也可选择美图SD-100-T桌面自动显影机进行显影。显影结束后用氮气吹干。
储存:
确保工作间有良好的通风、排气装置；
放入密封的贮藏器，储存在阴凉、干燥的地方，保持低温；
远离热源和阳光直射；
远离火源，禁止吸烟；
防静电；
切勿与碱金属（苛性碱溶剂）、氧化物质、酸性物质储存在一起。
