型号:
Resist Remover RR41
主要成分:
二甲基亚砜 20-80% CAS 67-68-5
氨基衍生物 20-80%
原理与使用方法:
Resist Remover RR41是一种剥离溶液,通过溶胀/溶解去除基材表面的光刻胶。
使用方法:
1、 将溶液倒入抗蚀剂剥离槽中。
2、 在通风橱内将溶液加热到100°C。
3、 将涂有抗蚀剂的基材放在溶液中5分钟。
4、 用去离子水冲洗基材,直至水电阻率达到规定
储存:
确保工作间有良好的通风、排气装置。
放入密封的贮藏器,储存在阴凉、干燥的地方。
使用防爆炸的设备或装置和防火花的工具。
远离热源和阳光直射。
远离火源,禁止吸烟。
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