名称：

波导传感器

用途：

1、光通信：

在光纤通信系统中，光波导用于传输和引导光信号，实现高速数据传输和通信网络的构建。

2、光传感：

光波导可用于传感器中，通过测量光信号的变化实现对环境、物质或参数的检测和测量。

3、激光技术：

在激光器和光放大器中，光波导可以用于限制和引导激光光束，实现激光的稳定输出和调制。

4、生物医学：

光波导在生物医学领域中被广泛应用，如光学成像、光疗等，为医学诊断和治疗提供了新的手段。

5、量子信息：

光波导在量子信息处理中发挥关键作用，可用于量子计算、量子通信等领域，实现高效的量子信息传输和处理。

核心工艺：

1、CVD

难点：通过CVD制备波导芯和包层材料，需要精确控制厚度和折射率（及材料组分要稳定），波导材料侧壁以及顶面要求光滑。

2、光刻

难点：波导器件分辨率要求和尺寸精度要求非常高，尺寸误差大会带来最终信号的严重误差漂移。

3、掺杂

难点：需要进行精准掺杂，且掺杂也要做到均匀稳定。