名称：

空间粒子探测器——金属网与光刻胶柱

用途：

用于探测和测量亚原子粒子（如电子、质子、中子、光子等），探测和分析来自宇宙空间的高能粒子，进行宇宙射线研究。

核心工艺：

1、支撑结构构建

难点：若金属网与支撑结构结合力差，金属网易脱落。

2、光刻胶喷涂

难点：需要制作厚度100µm以上的光刻胶层，且保证均一性在±1%以内。

3、光刻

难点：光刻胶厚度100μm以上，厚胶层曝光需要完全曝透，且需保证图形形貌较为完整。