名称：

超薄应变片（12μm）

用途：

超薄硅应变片是一种基于硅材料的高灵敏度应变传感器，广泛应用于各种需要精确测量应变或应力的领域。

举例：

1、结构健康监测：

用于航空航天中监测飞机、航天器结构中的应力变化，结构安全可靠。

用于土木工程中桥梁、大坝、建筑物等结构的应力监测，预防结构损坏。

2、微机电系统（MEMS）：

作为加速度计的核心传感元件，用于检测加速度变化。

用于检测外界压力变化，实现高精度压力测量。

3、生物医学：

可安装于可穿戴设备中，用于监测人体的生理参数，如脉搏、呼吸频率等。

可用于植入式传感器中来监测体内的应变变化，帮助医疗诊断和治疗。

核心工艺：

1、临时键合

难点：键合胶层的均一性要保证误差在±1μm以内。我司的匀胶机能够保证键合胶层厚度均一性±2%以内，然后用我司的胶键合设备进行临时键合，可以使整体样片厚TTV≤3um，这些都是确保后续减薄工艺成功的基础。

2、减薄

难点：在减薄过程中，必须确保整个硅片的厚度均匀，否则会导致应变片后续性能较差，良率过低。