产品名称:
Dummy片
Dummy片就是所谓的挡片/假片/垫片。假片一般由晶棒两侧品质较差部分切割而来,由于用量巨大,在符合条件的情况下部分产品会回收再利用。
应用:
dummy片一般用来暖机、填充空缺、测试生产设备的工艺状态或某一工艺的质量状况。它只能做有限的工艺测试,一般作为没有洁净度要求的单项工艺测试。
参数详情:
1、尺寸:4~12英寸
2、厚度:400~750μm
3、晶向:<100>
4、单抛、双抛
5、P型、N型
优势:
1、一般来说,假片没有电阻率的指标要求,或者电阻率范围非常宽。
2、外形尺寸基本符合SEMI标准。
3、基本不控制离子沾污和颗粒沾污。
4、采用蛋糕盒包装。
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