产品名称:
FZ硅片(进口/国产)
FZ硅片是指通过区熔法制作的硅片。区熔法是利用热能将硅棒从籽晶一端区域熔化,调节温度使熔化区缓慢移动至硅棒另一端,通过整根棒料,生长成一根单晶,晶向与籽晶相同。
应用:
FZ硅片一般是高阻的,广泛适用于太赫兹应用,同时也广泛应用于光电子领域、大功率器件领域(RF器件等)、太阳能电池领域、MEMS以及半导体领域(MOSFET、IGBT)等等。
参数:
1、尺寸:2~8英寸
2、厚度:250μm~1mm
3、晶向:<100>、<111>
4、单抛、双抛
5、N型、P型、本征
咨询时请告知工艺应用方向(不同的工艺应用适用不同的型号FZ硅片)以及是否做高温工艺,以便为您推荐适用的硅片。
优势:
1、区熔法利用杂质的分凝原理和蒸发特性,可以对硅棒进行提纯,并得到很均匀的杂质分布,可制造出高纯度的本征硅片。
2、FZ法不使用坩埚,污染小,低含氧量。