产品分类：

钛、锆、钒、铝、铪、过渡金属、稀土元素构成的合金靶，如Ti-Zr-V、Zr-V-Fe、Zr-Co-Re、Zr-Co-Ce等。

应用说明：

非制冷红外探测器利用红外辐射的热效应，由红外吸收材料将红外辐射能转换成热能，引起敏感元件温度上升。敏感元件的某个物理参数随之发生变化，再通过所设计的某种转换机制转换为电信号或可见光信号，以实现对物体的探测。作为感知红外辐射与输出信号间的桥梁，热敏感元件则是红外探测器的核心部件。

非制冷红外探测器的热敏元件主流材料以氧化钒（VOx）和非晶硅（α-Si）为主。氧化钒由于其更加突出的综合性能而成为非制冷红外焦平面探测器的主流技术路线，截至目前在全球市场上占据了超过80%的份额。读出电路将每个微测辐射热计的微小电阻变化以电信号的方式输出。氧化钒薄膜采用反应溅射沉积方法制备，需要对标准CMOS工艺PVD设备进行改造，引入O2作为反应气体，实现薄膜氧化，而钒靶则作为镀膜材料被广泛应用。

吸气剂，是在真空或惰性环境中吸收H2、CO2等活性气体的一种重要的功能材料，广泛应用于需要维持真空环境的高真空系统、微电子真空器件等。由于传统吸气剂激活温度高，体积大，并且有毒，已经不能满足在特定领域的使用要求。非蒸散型吸气剂薄膜具有激活温度低、吸气速率快、吸气容量大，高效制备，附着性强，体积小，兼容性强等优点是微电子MEMS器件的最佳选择。

常用的非蒸散型吸气剂薄膜主要由钛、锆、钒、铝、铪、过渡金属、稀土元素构成的合金，如ti-zr-v、zr-v-fe、zr-co-re、zr-co-ce等。