产品组分：

AlSc 8at%；AlSc 9.5at%；AlSc 9.6at%；AlSc 13at%；AlSc 15at%；AlSc 20at%；AlSc30at%；AlSc40at%；AlSc 9.6wt%；AlSc 13wt%

应用说明：

铝钪靶主要用于微型电机器件镀膜。5G通信中的带宽都在GHz范围，明显高于目前的蜂窝服务。这些更高的频率使得使用体声波（BAW）技术来开发新一代射频滤波器成为必然。BAW滤波器是一种基于压电的声学谐振器，其频率和带宽由压电元件的几何形状、压电材料的特性、薄膜厚度以及相关电极的几何形状和特性决定。与传统的声表面波谐振器相比，薄膜体声波谐振器具有更高的谐振频率和品质因子。

目前，薄膜体声波谐振器常用的压电材料有ZnO、PZT、AlN。其中，AlN与CMOS工艺的兼容性最好，而且AlN没有工业界FAB厂担心的Zn、Pb、Zr元素与其他元素结合的污染。近十年来，AlN压电薄膜及其器件的制备技术不断提高，成熟产品已应用于通信领域。然而，掺杂Sc的AlN薄膜因其压电性能的显著提升而备受关注。

AlSc合金靶，通过溅射，溅射出靶表面的化学成分和相组成均匀一致，与N反应沉积的AlScN薄膜也具有均匀一致的化学比和相组成。这确保了大规模生产中的工艺稳定性，典型适用于工业大规模量产。