产品介绍：

LOR & PMGI Lift-off 胶，底层胶。

非光敏。

单层厚度50nm-6μm。

型号：

LOR1A/ LOR2A/ LOR3A/ LOR5A/ LOR7A/ LOR10A/ LOR20B

LOR5B/ LOR10B/ LOR20B

PMGI-SF3/PMGI-SF6/PMGI-SF9/PMGI-SF11

应用：

LOR & PMGI Lift-off 胶的主要树脂材料是聚二甲基戊二酰亚胺(PMGI)聚合物，作为牺牲层，非常适用于各种lift-off工艺。LOR & PMGI与传统的正负胶搭配使用，不同的底胶厚度和底切率，满足了广泛的应用要求。例如金属剥离，气桥制造。

特性：

● 可用于<0.25um Lift-off工艺

● 对上层胶无影响

● 与Si,NiFe, GaAs, InP以及一些III–V ，II–VI 材料的粘附性好

● 显影过程简单，无需多余的有机试剂处理

● 与g/h/i-Line，DUV,193nm，E-beam光刻胶兼容

● 易去除

● 良好的耐热稳定性，Tg＞190℃