产品介绍:
SU-8 2000系列,负性 Near UV(350-400nm)。
光源推荐:i-Line,也可用于E-beam,X-ray。
单层厚度:0.5-650um。
型号:
SU-82000.5/SU-82000.2/SU-82007/SU-82010/SU-82015/SU-82025/SU-82035/SU-82050/SU-2075/SU-82150
应用:
SU-8常被用于微机械加工及其他微电子应用领域,如制作电镀模具,传感器,微纳结构等。
特性:
● 分子量低
● 溶解度好
● 透明度高
● 可形成光滑膜层
● 玻璃化温度(Tg)低
● 粘度可降低
● 单次旋涂可得超厚膜层(650μm)
● 涂层厚度均匀
● 高宽比大(10:1)
● 耐化学性优异
● 生物相容性好(微流控芯片)
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