产品介绍：

SU-8 3000系列，负性 Near UV(350-400nm)。

光源推荐：i-Line，也可用于E-beam，X-ray 。

单层厚度：5-100um。

SU-8 3000系列较SU-8 2000具有更好的基底粘附力，减少在工艺过程中产生内应力积累。

型号：

SU-83005/SU-83010/SU-83025/SU-83035/SU-83050

应用：

光电器件，微流体，MEMS芯片制作以及作为芯片绝缘，保护层使用。

特性：

● 分子量低

● 溶解度好

● 透明度高

● 可形成光滑膜层

● 玻璃化温度（Tg）低

● 粘度可降低

● 单次旋涂可得超厚膜层（650μm）

● 涂层厚度均匀

● 高宽比大（10:1）

● 耐化学性优异

● 生物相容性好（微流控芯片）