环氧型负性光刻胶 HTIN 683
发布时间:2024-08-12 11:33:43

产品详情

产品介绍:

HTIN 683。国产SU-8,可替代SU-8 3000系列。

光源推荐:i-Line。

单层厚度:8-70um。

应用:

用于光电器件,MEMS芯片制作,以及作为芯片绝缘、保护层使用。

特性:

● 高分辨,垂直形貌

● 优异的附着力,低的涂层应力

● 优异的耐干法刻蚀性能

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