产品介绍:
HTIN 683。国产SU-8,可替代SU-8 3000系列。
光源推荐:i-Line。
单层厚度:8-70um。
应用:
用于光电器件,MEMS芯片制作,以及作为芯片绝缘、保护层使用。
特性:
● 高分辨,垂直形貌
● 优异的附着力,低的涂层应力
● 优异的耐干法刻蚀性能
上一个产品:Microchem SU-8 3000系列
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产品详情
HTIN 683。国产SU-8,可替代SU-8 3000系列。
光源推荐:i-Line。
单层厚度:8-70um。
用于光电器件,MEMS芯片制作,以及作为芯片绝缘、保护层使用。
● 高分辨,垂直形貌
● 优异的附着力,低的涂层应力
● 优异的耐干法刻蚀性能
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