产品介绍：

SPR 955-CM系列，正胶、紫外光刻胶。

光源推荐：i-Line。

单层厚度：0.7-3.5um。

型号：

SPR 955-0.7/SPR 955-0.9/SPR 955-1.1/SPR 955-1.4/SPR 955-1.8/SPR 955-2.1

应用：

MEGAPOSIT SPR955-CM系列光刻胶是一种通用的、高分辨率的i-Line光刻胶，可用于0.35µm的前端和后端应用。也与底层胶LOR/PMGI-SF搭配，做lift-off 工艺。

特性：

● 高分辨率（undercut）

● 在多晶硅实现高密度线条和空间，或者独立线条。

● 在氮化钛上实现高密度，高深宽比的线条和空间

● 在氧化硅上刻蚀密集孔

● 高深宽比的孔

● 灵敏度高