名称:
原子气室
用途:
1、原子钟
作为标准时间基准,利用原子跃迁频率的稳定性实现高精度时间测量。
应用:全球定位系统(GPS)、电信网络同步等。
2、量子传感器
利用原子气室中的原子对外界磁场、温度、加速度等物理量的高度敏感性进行精确测量。
应用:地球物理勘探、医学成像、基础物理研究。
3、原子陀螺仪
通过测量原子在旋转系统中的相位变化,实现高精度的角速度和方位角测量。
应用:导航系统、惯性测量单元(IMU)。
核心工艺:
1、水氧控制
难点:工艺过程从开始至结束,需要环境中水氧含量处于一个极低的水平,否则碱金属将会氧化,阳极键合难以成功。
2、阳极键合
难点:需要在保证键合强度的同时保证气室密封性,保证碱金属不会挥发。
3、金属蒸发
碱金属材料采用蒸发的形式注入通孔中,需要保证金属材料精准注入各个通孔中(键合面无沾污),而且每个通孔中碱金属质量一致。