产品分类:
(1) 高纯金属材料
铝(AI);铬(Cr);铜(Cu);锗(Ge);镓(Ga);铪(Hf) ;铟(In);镍(Ni);硅(Si);铂(Pt);锡(Sn);钛(Ti);银(Ag);金(Au)
(2) 氧化物
氧化铝(AI2O3);氧化铪(HfO2);氧化铟锡(ITO);氧化铌(Nb2O5);氧化钛(Ti3O5);氧化钽(Ta2O5)
(3) 硒化物
硒化镉(CdSe);硒化锌(ZnSe)
(4) 硫化物
硫化锌(ZnS)
(5) 氟化物
氟化镱(YbF3);氟化铈(CeF3);氟化钡(BaF2)
应用说明:
用于蒸发沉积各种功能薄膜的贵金属材料。广泛应用于微电子、光电子、信息存储、光学镀膜和装饰等行业。
蒸发镀膜常称真空镀膜。其特点是在真空条件下,材料蒸发并在玻璃表面上凝结成膜,再经高温热处理后,在玻璃表面形成附着力很强的膜层。有70 多种元素、50 多种无机化合物材料和多种合金材料可供选择。
PVD工艺的首要条件是在真空条件下操作,因为限量以上的残余气体会影响膜的成分和性质。为了实现镀膜工艺,要求残余气体的压力为0.1~1Pa。